Photolithographie

"photolithographie" dans l'encyclopédie

• CIRCUITS INTÉGRÉS

  • Écrit par Frédéric PÉTROT et Franck WAJSBÜRT
  • 49 486 mots
  • 20 médias

  La photolithographie Le procédé photolithographique est utilisé à chaque étape pour créer chacune des couches du circuit. Il consiste à reproduire un dessin (masque) sur le substrat, en projetant l'ombre de celui-ci (éclairé par des ultraviolets à très faible longueur d'onde) sur le substrat préalablement recouvert d'une résine photosensible. La résine peut être positive ou négative.

• SEMI-CONDUCTEURS

  • Écrit par Julien BOK
  • 26 075 mots
  • 7 médias

  Comme dans la photolithographie, la plaquette est recouverte d'une résine photosensible. Un masque, au dessin très précis, est placé entre la source lumineuse et la plaquette. Dans les régions non exposées, la résine est dissoute dans un solvant, et la silice, qui se trouve en dessous, attaquée par l'acide fluorhydrique. L'oxyde est protégé dans les régions non éclairées.

• LASERS

  • Écrit par Yves LECARPENTIER et Alain ORSZAG
  • 59 076 mots
  • 4 médias

  Ils sont utilisés pour la photolithographie à haute résolution (en particulier pour « insoler » les masques qui serviront à fabriquer les circuits intégrés) ainsi qu'en médecine (cf 4. Principales applications des lasers), pour la kératotomie radiaire de la cornée (« sculpture de la cornée » pour corriger, par exemple, des défauts de vision). Enfin, leur puissant rayonnement ultraviolet peut provoquer la solidification très rapide (par polymérisation) de liquides.