Abonnez-vous à Universalis pour 1 euro

MICROSCOPIE

Article modifié le

Microscopie électronique

Parmi les microscopes à radiations corpusculaires, seuls les microscopes électroniques sont très largement employés. Ils utilisent les propriétés ondulatoires des électrons accélérés auxquels peut être associée une longueur d'onde selon la relation de Louis de Broglie entre la longueur d'onde λ et la quantité de mouvement mv :

h est la constante universelle de Planck égale à 6,62 × 10−34 Js.

La longueur d'onde est d'autant plus courte que la vitesse des électrons, ou la tension sous laquelle ils sont accélérés, est plus grande. Pratiquement pour V0= 200 kV, v = 0,695 c (où c est la vitesse de la lumière dans le vide) et λ = 2,5 pm (1 picomètre [pm] = 10−12 m), soit environ 100 fois plus faible qu'une distance moyenne interatomique dans un solide.

Abonnez-vous à Universalis pour 1 euro

Le fait d'utiliser des électrons au lieu de photons impose cependant un certain nombre de contraintes, même s'ils sont relativement faciles à obtenir et à accélérer par un champ électrostatique. En raison de leur fort pouvoir d'interaction avec la matière, ils ne se propagent librement que dans une enceinte à vide. Pour les dévier ou les focaliser, l'optique adaptée fait appel à des lentilles électroniques où des champs électriques ou magnétiques de révolution modifient leurs trajectoires.

Pratiquement, ce sont les travaux d'une équipe de pionniers à Berlin (Gabor, Ruska, Busch, Knoll, von Borries), à la fin des années 1920, qui ont conduit à l'obtention des premières images de microscopie électronique à transmission par Ernst Ruska en 1931. Ce premier instrument présentait une architecture très semblable au microscope photonique avec une source de rayonnement, une optique d'éclairement, l'échantillon préparé sous forme d'une lame mince de quelques dizaines à quelques centaines de nanomètres d'épaisseur, une optique de formation de l'image sur un écran d'observation fluorescent sous l'impact des électrons (ou sur une émulsion photographique destinée à son enregistrement). L'élément optique le plus important est alors la lentille objectif située juste après l'échantillon et qui en donne une première image dont les lentilles qui suivent fournissent un agrandissement sur le détecteur.

Cette conception générale du microscope électronique s'est maintenue jusqu'à aujourd'hui à travers plusieurs générations d'instruments commerciaux (Philips, Zeiss, JEOL, Hitachi, Topcon) aux performances régulièrement améliorées, qui permettent d'obtenir des images par transmission de la structure atomique d'échantillons solides minces avec une résolution à l'échelle atomique.

Abonnez-vous à Universalis pour 1 euro

En 1939, Manfred von Ardenne introduisait le premier microscope électronique à balayage dans lequel l'image est construite point par point par déplacement d'une très fine sonde d'électrons sur la surface de l'échantillon et par visualisation sur un tube cathodique d'un spot dont l'intensité est modulée par la grandeur d'un signal résultant de l'interaction entre la sonde et l'échantillon. Par comparaison avec la famille de microscopes conventionnels décrits ci-dessus, l'élément important d'optique électronique dans un microscope à balayage réside dans la lentille située avant l'échantillon, chargée d'assurer la focalisation du faisceau primaire en un spot très étroit dont la taille gouverne en grande partie le pouvoir de résolution. En outre, il n'existe pas dans ce type de microscopes de lentilles grandissantes après l'échantillon. L'image est tout à fait équivalente à une image de télévision, le grandissement entre l'information perçue sur l'écran d'observation étant reliée aux dimensions explorées sur l'échantillon par le rapport des amplitudes de déplacement de la sonde sur l'échantillon et du spot sur le moniteur TV. Mais ce n'est qu'après les travaux de Cosslett et Nixon à Cambridge en 1953 que ces microscopes à balayage sont devenus commercialisés, et ils constituent maintenant près des deux tiers du parc de microscopes électroniques en fonctionnement. Leur grande commodité d'utilisation, leur souplesse pour visualiser des champs d'extension très variable sur des échantillons massifs, l'étendue de leur profondeur de champ en font un outil indispensable dans l'exploration du monde microscopique, et les laboratoires industriels y font très souvent appel.

À côté de ces deux principales familles de microscopes électroniques (M.E.T. : microscope électronique à transmission, ou T.E.M. en anglais d'une part, et M.E.B. : microscope électronique à balayage en réflexion ou S.E.M. en anglais d'autre part), on doit signaler plusieurs types d'instruments plus ou moins mixtes ou intermédiaires qui ont considérablement élargi le champ d'application de la microscopie électronique. Le premier est le microscope à balayage en transmission, plus connu sous le sigle anglo-saxon S.T.E.M., qui résulte des travaux d'Albert Crewe et de ses collaborateurs à Chicago à la fin des années 1960. Lasociété britannique Vacuum Generators le propose sur le marché depuis près de vingt ans. Il utilise une sonde primaire de taille subnanométrique d'électrons issus d'une source à effet de champ et qui est transmise à travers un échantillon mince afin de limiter l'élargissement du faisceau au cours de sa progression dans la matière. L'intérêt d'une telle approche est de pouvoir explorer sous différents aspects, définis par le jeu des détecteurs ou des spectromètres utilisés, les divers caractères structuraux, aussi bien que chimiques, de la lame mince, avec une résolution quasi atomique.

L'idée d'effectuer une analyse chimique conjointement à la visualisation de l'échantillon n'est en fait pas récente. En 1944, Hillier et Baker aux États-Unis proposaient, pour arriver à cette fin, d'étudier les pertes d'énergie subies par les électrons au cours de la traversée de l'échantillon. Mais ce n'est que bien plus tard, au cours des années 1960 et surtout 1970, que cette technique de spectroscopie des pertes d'énergie est devenue un outil analytique en microscopie électronique, à la suite des travaux de diverses équipes (en particulier celle de Raimond Castaing à Orsay) destinés à adapter un spectromètre performant sur une colonne de microscope. Aujourd'hui, ainsi qu'il l'a été démontré par l'équipe d'Orsay, cette voie constitue l'approche la plus performante en termes de nombre d'atomes identifiables (atome unique isolé sur un film support ultramince) et la plus riche par la diversité des informations recueillies (spécificité chimique, état de valence, symétrie du site cristallin).

Abonnez-vous à Universalis pour 1 euro

Dans l'intervalle, c'est-à-dire entre 1950 et 1980, l'analyse chimique locale a principalement été réalisée par mesure de la longueur d'onde des rayons X émis par le solide soumis à l'impact du faisceau d'électrons primaires. Le prototype des instruments de ce type est la microsonde construite par Raimond Castaing en 1951 à l'O.N.E.R.A., dans laquelle un spectrographe classique à cristal analyse les photons X provenant d'une zone irradiée de l'ordre de quelques dixièmes de micromètres. L'instrument a ensuite été commercialisé par la société C.A.M.E.C.A., assurant ainsi une présence française dans ce domaine de l'instrumentation scientifique depuis une trentaine d'années. En parallèle, l'introduction des diodes semiconductrices pour mesurer l'énergie des photons X a sensiblement modifié le champ d'utilisation de cette technique. Sa compacité réduite et son implantation aisée au regard de l'échantillon dans une colonne de microscope électronique en ont fait un accessoire analytique très commode.

Finalement, ce panorama des microscopes ne serait pas complet sans une référence à la microscopie à émission ionique dont Erwin Müller (en Allemagne, puis aux États-Unis) a été l'initiateur et le responsable des perfectionnements successifs au cours de plusieurs décennies. Cet appareil, qui utilise l' ionisation par effet de champ d'atomes de gaz rare au voisinage des atomes de surface d'un échantillon préparé sous forme d'une pointe fine de quelques dizaines de nanomètres de diamètre, a produit dans les années 1960 les premières images, avec une résolution atomique, de la surface de matériaux réfractaires. Une dimension analytique a été introduite plus récemment en mesurant par spectrométrie à temps de vol la masse des ions évaporés à partir de cette surface sous l'influence de pulses de tension. Une performance a été réalisée au cours de l'année 1993 par une équipe de l'université de Rouen en reconstruisant, atome par atome, la distribution tridimensionnelle de la nature chimique de ces atomes dans un petit volume d'alliage métallique à l'extrémité d'une telle pointe.

Description des microscopes

Microscope conventionnel à transmission

Microscope électronique à transmission - crédits : Encyclopædia Universalis France

Microscope électronique à transmission

Abonnez-vous à Universalis pour 1 euro

La colonne d'un microscope électronique est formée d'un empilement, généralement vertical, d'éléments : le canon à électrons, les lentilles au milieu desquelles est placé l'échantillon, la chambre d'observation. Ces trois parties servent respectivement à produire et à accélérer les électrons, à les dévier et à les focaliser le long de trajectoires les amenant à traverser l'échantillon dans des conditions déterminées, et à les détecter. Dans tout l'espace où se meuvent les électrons règne le vide ou, plus exactement, une pression très faible, au moins inférieure à 10−5 torr (1 torr = 1 mm de mercure). La tendance actuelle est d'améliorer la qualité de ce vide aux alentours de 10−9 torr afin de préserver la propreté de la surface libre de l'échantillon.

La source d'électrons assume une double fonction, à savoir produire les électrons et les accélérer. L'émission des particules peut être obtenue de deux façons différentes.

Dans un canon de type classique, un filament en forme de V en tungstène ou un petit cristal pointu d'hexaborure de lanthane est chauffé par un courant électrique à une température de l'ordre de 1 900 à 3 000 0C. Le filament est entouré d'un cylindre, appelé wehnelt ; en dessous se trouve l'anode, percée comme le wehnelt d'une ouverture pour laisser passer le faisceau électronique. La distance entre le wehnelt et l'anode est de l'ordre du centimètre. L'anode est à la masse, le filament est à la haute tension négative, par exemple 100 kV ; le potentiel du wehnelt diffère de celui du filament de quelques centaines de volts. Il sert, comme la grille d'une triode, à régler l'intensité du faisceau électronique. Pour les microscopes à plus haute tension, jusqu'à 1 000 kV et même au-dessus, une succession d'électrodes portées à des tensions croissantes joue le rôle d'un petit accélérateur de particules.

Abonnez-vous à Universalis pour 1 euro

Un second type de canon utilisé est le canon à émission de champ. Il ne nécessite aucun chauffage de l'émetteur d'électrons. Le filament est ici constitué d'un fil de tungstène en forme de pointe, dont le rayon de l'extrémité est de l'ordre de 10−7 m. Il est porté à un potentiel négatif de quelques kilovolts par rapport à une première anode extractrice : il en résulte un champ électrique très intense au voisinage de la pointe. Sous l'action de ce champ, les électrons sont arrachés de l'extrémité par effet tunnel. Ce canon présente une brillance plus grande que le canon classique permettant en particulier de concentrer un faisceau de l'ordre du nanoampère dans une sonde de l'ordre du nanomètre. En contrepartie, il est nécessaire d'assurer un très bon vide (10−11 torr) autour du filament.

Dans les deux cas, le faisceau accéléré comporte ou semble provenir d'une partie rétrécie, ou « cross-over », qui joue le rôle de source virtuelle d'électrons vis-à-vis de la colonne du microscope. Dans la succession de lentilles magnétiques qui constituent cette dernière, les électrons sont soumis à des forces de Lorentz tout au long de leurs trajectoires dans les champs magnétiques associés. Dans une description simplifiée, on peut représenter ces trajectoires au moyen de rayons comme dans le cas des lentilles minces de l'optique photonique.

Pratiquement, les lentilles magnétiques sont des électroaimants de révolution percés d'un canal axial à travers lequel passent les électrons. Elles sont donc formées d'un bobinage, d'une carcasse de fer doux et de pièces polaires. Le bobinage est constitué par un grand nombre de tours de fils de cuivre ; il est parcouru par un courant destiné à créer un champ magnétique. Ce champ est concentré dans l'entrefer grâce à la carcasse et aux pièces polaires. Il agit sur les électrons en leur imprimant un mouvement spiral et focalisant le long de leur direction de propagation. Contrairement à l'optique photonique, il ne peut pas exister en optique électronique de lentilles divergentes. Mais leur propriété focalisante (ou leur distance focale) peut être modifiée continûment en faisant varier le courant parcourant le bobinage.

Abonnez-vous à Universalis pour 1 euro

Les lentilles traversées successivement par les électrons sont : le condenseur, l'objectif, la lentille intermédiaire et le projecteur.

Le condenseur permet d'éclairer une partie plus ou moins grande de l'objet, c'est-à-dire soit en mode parallèle, soit en mode focalisé. Les microscopes possèdent maintenant trois ou quatre condenseurs afin d'offrir une large gamme de modes d'éclairement.

Microscope : la lentille objectif - crédits : Encyclopædia Universalis France

Microscope : la lentille objectif

L'objectif est la lentille principale, car de ses propriétés dépendent les performances du microscope en termes de pouvoir de résolution. Il donne de l'objet un diagramme de diffraction dans son plan focal et une première image agrandie. Il a une courte distance focale f, par exemple de 1 à 3 mm ; il agrandit quelques dizaines de fois. À l'intérieur de l'objectif, un porte-objet permet de déplacer l'objet étudié pour choisir la partie examinée. Ce porte-objet doit aussi souvent incliner l'objet par rapport au faisceau, pour pouvoir changer l'angle de visualisation et en effectuer ainsi une étude tridimensionnelle.

Les deux ou trois lentilles situées au-dessous de l'objectif (lentilles intermédiaires ou projecteurs) agrandissent le cliché de diffraction ou l'image, selon qu'elles conjuguent avec le plan d'observation le plan focal ou le plan image de l'objectif.

Abonnez-vous à Universalis pour 1 euro

Traditionnellement, l'image ou le cliché de diffraction est visualisé sur l'écran fluorescent afin de réaliser la meilleure mise au point et enregistré photographiquement sur un film escamotable. De nos jours, la tendance est de compléter ces techniques classiques d'enregistrement au moyen de caméras de télévision de bas niveau de lumière pour améliorer les conditions fines de réglage du microscope à très haute résolution et fort grandissement. En outre, les nouvelles générations de caméras à réseaux de détecteurs semiconducteurs (C.C.D.) permettent un enregistrement numérique des données sur une large gamme d'intensités et constituent la voie privilégiée pour toutes les possibilités de traitement digital a posteriori.

Les échantillons destinés à être observés par transparence doivent être suffisamment minces pour que les électrons transmis y subissent un nombre réduit d'interactions, conservant ainsi un degré satisfaisant de collimation et de dispersion énergétique pour donner lieu à des images finales de bonne qualité. Il n'existe pas de critère simple de définition d'une épaisseur critique, celle-ci dépendant de l'information et de la résolution recherchées. On peut cependant admettre que cette épaisseur est de l'ordre de quelques dizaines à quelques centaines de nanomètres pour des électrons d'énergie primaire de 100 ou de 200 keV. Pour des électrons de plus haute énergie, la pénétration est accrue et on peut obtenir des images nettes avec des échantillons d'épaisseur typique de un micromètre. Cela a constitué un des grands succès des microscopes de 1 MeV et de 3 MeV construits à Toulouse sous l'impulsion de Gaston Dupouy dans les années 1960.

Pour obtenir ces échantillons minces, un grand nombre de techniques ont été élaborées, dépendant de la nature du matériau. Certaines, très élémentaires, consistent à le broyer en de très fines particules et à en recueillir des éclats sur des substrats spéciaux de carbone à trous. Pour les matériaux les plus résistants, toutes les possibilités d'amincissement chimique, électrolytique ou sous abrasion ionique sont aujourd'hui utilisées. On peut aussi faire croître des couches minces à partir de rien par dépôt en phase vapeur sur des substrats variés que l'on dissout ensuite dans des bains appropriés. Pour la matière plus molle des polymères ou du monde biologique, il existe un vaste arsenal de techniques de fixation chimique ou physique, d'enrobage, de découpe avec un appareil de microtomie. Il ne faut pas sous-estimer l'importance de cette étape de préparation de l'échantillon, même si elle prend parfois des allures de recette de cuisine, car c'est souvent de la qualité de l'échantillon observé que dépend le résultat de l'observation et de la mesure.

Microscope à balayage

Microscope à balayage - crédits : Encyclopædia Universalis France

Microscope à balayage

Abonnez-vous à Universalis pour 1 euro

Dans ce type de microscope, l'image est obtenue séquentiellement point par point en déplaçant la sonde d' électrons primaires sur la surface de l'échantillon. L'image est alors reconstruite en utilisant le signal généré par différents détecteurs pour moduler la brillance d'un tube cathodique. Un tel instrument possède donc un certain nombre de composants semblables à ceux du microscope décrit ci-dessus. Il s'agit du canon à électrons et de l'ensemble des lentilles destinées à focaliser le faisceau primaire en un spot ponctuel. Les meilleures performances sont obtenues lorsqu'on peut focaliser un courant intense dans une tache aussi petite que possible : les paramètres importants sont alors la brillance du faisceau primaire, que l'on accroît par utilisation d'une source à effet de champ, et les propriétés optiques de la dernière lentille focalisante.

Deux grandes familles de microscopes à balayage se distinguent par la nature de l'échantillon observé : les microscopes à réflexion, qui concernent les échantillons massifs et les microscopes à transmission, qui concernent les échantillons minces. Dans le premier cas, on recueille les signaux résultant de la cascade complexe de chocs à l'intérieur du spécimen entre les échantillons incidents et les atomes de la cible, et dont seule une faible fraction est réémise par la surface extérieure : électrons rétrodiffusés et électrons secondaires pour déterminer la topographie superficielle, rayons X pour l'analyse chimique d'un volume typiquement de l'ordre du micromètre cube. Les détecteurs placés en regard de l'échantillon doivent être adaptés à la spécificité de ces différents signaux, et une attention spéciale est portée à l'électronique de mise en forme.

Pour le microscope de type S.T.E.M., l'approche générale est similaire, mais les détecteurs privilégiés sont alors le détecteur annulaire, qui recueille les électrons diffusés à grand angle au cours de la traversée de l'échantillon, et le spectromètre de pertes d'énergie, qui mesure la distribution en vitesse des électrons transmis. Le volume générateur de ces signaux utiles peut alors être réduit à la taille minimale de la sonde et à une épaisseur très faible, ce qui fait de ce type d'instrument l'appareil le plus performant pour l'analyse ultime.

Applications en sciences physiques

Les perfectionnements apportés régulièrement au microscope électronique en ont fait un outil tout à fait indispensable dans notre exploration de la matière solide à l'échelle atomique et lui ont ouvert un large champ d'applications. En fait, tout objet inhomogène à l'échelle du nanomètre est concerné. Ce peut donc être une macromolécule, une interface entre deux milieux de natures différentes, un agrégat métallique, un défaut, un joint de grains, une dislocation dans un alliage métallique ou un composé semiconducteur, un empilement de feuillets sédimentaires, etc. Ce qu'il est aussi important de souligner, c'est que cette exploration ne consiste pas seulement à « voir », c'est-à-dire à déterminer la forme, l'arrangement atomique, la microstructure cristalline. Et c'est le rôle privilégié des images et des clichés de diffraction. Mais, de plus en plus, il s'agit aussi d'analyser la composition chimique, d'étudier les propriétés électroniques avec une résolution quasi similaire, de l'ordre du nanomètre ou mieux, et, dans cette voie, l'analyse X et la spectroscopie des pertes d'énergie jouent un rôle essentiel.

Pouvoir de résolution du microscope électronique

Pour illustrer cette richesse du champ d'applications, nous allons montrer d'abord comment le pouvoir de résolution du microscope électronique moderne est adapté à l'imagerie des structures atomiques.

Les qualités d'un microscope électronique dépendent surtout de celles de son objectif, car ce sont les défauts de l'image qu'il donne qui sont amplifiés par la lentille intermédiaire et le projecteur. Les défauts les plus importants ou, pour employer le vocabulaire usuel, les aberrations sont : l'aberration de diffraction,l'aberration de sphéricité, l'aberration chromatique et l'astigmatisme (cf. optique Optique instrumentale).

Abonnez-vous à Universalis pour 1 euro

Le phénomène de diffraction par une ouverture de taille finie intervient sur les ondes corpusculaires de façon identique à son action sur les ondes de lumière. Il fournit d'un point source objet une image, la tache d'Airy, dont le diamètre varie en λ/α, c'est-à-dire inversement proportionnellement à l'ouverture angulaire α de la lentille.

L' aberration de sphéricité (CS, exprimée en millimètre comme la distance focale f) provient du fait que la lentille focalise davantage les rayons qui y pénètrent sous une inclinaison élevée. Elle fournit d'un point objet une image floue dont le diamètre varie comme la puissance cubique de l'ouverture α. Par conséquent, elle oblige à diaphragmer énormément le faisceau qui y pénètre. Les lentilles électroniques sont beaucoup moins ouvertes que les lentilles de l'optique photonique. La raison en est qu'il n'existe pas en optique électronique de lentilles divergentes dont les défauts corrigeraient ceux, opposés, des lentilles convergentes.

Le rôle opposé de ces deux termes de diffraction et d'aberration de sphéricité en fonction de l'ouverture de la lentille objectif conduit donc à rechercher une ouverture optimale, conduisant à un compromis entre ces deux termes. Il lui correspond donc une résolution optimale qui est de l'ordre de 0,5 CS1/4 . λ3/4 et qui correspond à une ouverture de l'ordre de quelques milliradians. Contrairement au cas où la résolution est limitée par la seule influence de la diffraction, son comportement est plus complexe. Pour améliorer la résolution, on a donc intérêt à diminuer la longueur d'onde des électrons et à réduire le coefficient d'aberration sphérique de l'objectif par un meilleur confinement du champ magnétique intense qui règne entre les pièces polaires. Ce qui conduit aux meilleures résolutions existant actuellement sur le marché, à savoir 0,19 nm à 200 kV avec CS = 0,4 mm, et 0,11 nm à 1 200 kV avec CS = 1,5 mm, c'est-à-dire des valeurs tout à fait suffisantes pour résoudre les distances interatomiques dans un cristal, tout en étant environ cent fois supérieures à la longueur d'onde.

Abonnez-vous à Universalis pour 1 euro

L' aberration chromatique des lentilles est associée à la dispersion de largeur non nulle de leur distance focale pour une distribution non monochromatique des électrons. Pour la réduire, il est nécessaire de stabiliser, avec une précision de l'ordre de quelques millionièmes, aussi bien la tension accélératrice que le courant dans les lentilles, puisque la distance focale dépend de ces deux quantités.

Enfin, le terme d'astigmatisme n'est pas considéré comme un paramètre limitatif dans le pouvoir de résolution car les objectifs sont toujours munis de stigmateurs grâce auxquels on peut rétablir la symétrie de révolution du champ de l'objectif.

Comprendre les images et les clichés de diffraction

À cette fin, il faut comprendre comment les électrons tombant sur l'échantillon interagissent avec lui et comment l'information qu'ils transportent est ensuite recueillie par les détecteurs. Procédons par étapes : si nous envoyons un faisceau parallèle d'électrons sur un atome isolé, il y a diffusion du faisceau par l'atome, c'est-à-dire qu'après interaction les électrons voyagent dans toutes les directions de l'espace et que, dans une direction donnée, l'amplitude du faisceau dépend de l'angle de déflection et de la nature de l'élément cible. L'interaction prépondérante est de type électrostatique entre le potentiel local dû au noyau chargé positivement et les nuages électroniques des électrons qui l'entourent d'une part, et la charge négative de l'électron incident de haute énergie d'autre part.

Pour un échantillon amorphe, dans lequel il n'existe aucune relation stricte entre les positions des atomes du solide, si ce n'est peut-être une distance entre plus proches voisins assez bien définie, la distribution des électrons diffusés peut se décrire en première approximation comme pour un atome. Et l'intensité de l'onde diffusée dans une direction est égale à la somme des intensités diffusés par les atomes indépendamment.

Abonnez-vous à Universalis pour 1 euro

La lentille objectif permet d'observer dans son plan focal image la distribution des électrons en fonction de leur angle de diffusion. C'est ce qu'on appelle la figure de diffraction qui, dans le cas d'un amorphe, est une distribution isotrope d'intensité régulièrement décroissante en fonction de l'angle de diffusion. Dans ce plan, on peut introduire un diaphragme de contraste qui sélectionne une partie seulement de ces électrons diffusés. Si, ensuite, on forme une image avec les électrons transmis à travers ce diaphragme, on obtient des variations d'intensité associées à des variations d'épaisseur ou de composition chimique de l'échantillon, car la proportion des électrons diffusés hors de ce diaphragme dépend de ces deux paramètres.

Si, maintenant, la cible est un cristal parfait, donc formé de l'arrangement périodique d'atomes, il ne subsiste qu'un ensemble discret de directions de l'espace pour lesquelles l'intensité du faisceau diffusé est non nulle. Ce sont les directions de diffraction définies par les conditions de la loi de Bragg. Il s'agit d'un phénomène d'interférences de nature ondulatoire. Dans ce cas, le cliché de diffraction est constitué d'un ensemble de taches bien définies. Les symétries de la figure ainsi observée et les distances interréticulaires mesurées constituent des atouts précieux pour identifier la structure cristalline.

Pour réaliser des images significatives à partir de ce cliché de diffraction, le choix de la taille et de la position du diaphragme de contraste dans le plan focal est alors essentiel. Ou bien on sélectionne les échantillons transmis dans l'axe (image en champ clair), ou bien uniquement ceux diffractés suivant une direction donnée, autour de la tache G1 par exemple (image en champ sombre). Ces images mettent clairement en évidence les zones de l'échantillon qui diffèrent du cristal parfait. Cette technique permet donc de visualiser immédiatement tous les défauts de structure, comme les joints de grains, les interfaces, les défauts d'empilement, les dislocations. Ce fut un des grands succès de la microscopie électronique que de fournir en 1956 (Hirsch, Howie et Whelan à Cambridge) les premières images directes de dislocations dans un métal ou un alliage.

Abonnez-vous à Universalis pour 1 euro

Enfin, si on sélectionne simultanément le faisceau transmis et le (ou les) faisceau(x) diffracté(s), on obtient une image d'interférences directement représentative de la structure cristalline. Cependant, son interprétation n'est pas immédiate, car la lentille, non parfaite comme déjà souligné, peut distordre l'information et l'éliminer même complètement pour les distances inférieures au pouvoir de résolution. On dit qu'il se comporte comme un outil de transfert de l'information, dont il faut maîtriser les caractéristiques pour comprendre complètement l'image enregistrée. Pour ne prendre qu'un exemple, les conditions de focalisation de la lentille objectif doivent être très bien connues pour déterminer si ce sont les points blancs ou les points noirs sur l'image qui correspondent à la position réelle des colonnes atomiques.

Avec les microscopes modernes de 200 à 400 kV, il est possible de résoudre au moins une distance interréticulaire dans la quasi-totalité des matériaux cristallisés. La course aux très hautes tensions (supérieures à 1 000 kV) se justifie encore, malgré le coût particulièrement élevé de ces machines, par un pouvoir de résolution permettant de visualiser les alignements de colonnes atomiques sous plusieurs orientations. Quand on dispose d'un porte-objet permettant d'incliner l'échantillon dans le microscope, il est alors possible intrinséquement de reconstruire la structure atomique du solide près d'un défaut en trois dimensions.

L'association de techniques spectroscopiques à ces capacités de visualisation à très haute résolution constitue enfin la perspective la plus stimulante. Il est désormais possible de voir la structure d'un nano-objet (objet dont la taille est de l'ordre de quelques nanomètres et qui, par ses dimensions très réduites, présente des propriétés quantiques originales de conductibilité, optiques, magnétiques, etc.) et d' analyser sa composition chimique, voire ses propriétés électroniques avec le pouvoir de résolution adapté. C'est vrai aussi pour tous les défauts de structure ou d'empilements dont la cristallographie et la chimie à l'échelle atomique conditionnent bien souvent les propriétés macroscopiques du solide.

Abonnez-vous à Universalis pour 1 euro

Par la qualité de ses performances et la diversité des informations qu'elle procure sur la matière à l'échelle atomique, la microscopie électronique constitue encore aujourd'hui un outil de premier choix. Toutes les classes de matériaux peuvent ainsi être observées et analysées. On doit enfin souligner les perspectives très prometteuses offertes par les techniques in situ qui consistent à utiliser cette enceinte d'observation et d'analyse ultramicroscopique pour y effectuer des expériences variées : évolution en fonction de la température au voisinage d'une transition de phase, effets induits par irradiation sous les électrons du faisceau eux-mêmes mais aussi sous un faisceau externe d'ions, ou de photons, application de contraintes mécaniques externes pour étudier la dynamique de processus de déformations. Ce ne sont là que quelques exemples destinés à montrer la richesse des possibilités offertes.

— Christian COLLIEX

Applications en biologie

L'outil perfectionné par les physiciens a beaucoup apporté à la biologie. Les espoirs de voir les cellules vivantes se sont évanouis avec les difficultés rencontrées, mais les progrès des techniques d'observation, et surtout leur diversification, ont permis d'accéder au matériel biologique à des niveaux très différents : des tissus aux macromolécules isolées.

« Voir » l'ultrastructure des tissus et des cellules

L' observation des tissus ou des cellules en culture a bénéficié des progrès des méthodes de fixation et d'inclusion qui permettent la réalisation en routine de coupes fines (0,1 μm) dans différents types de résines, éventuellement hydrosolubles, qui sont choisies en fonction de ce qu'on cherche à voir dans les objets inclus. Des cellules ayant subi divers traitements, ou sur lesquelles bourgeonnent des virus sont aisément étudiées par l'observation de telles coupes. La fixation par le froid (congélation rapide des tissus par l'hélium ou azote liquide suivie d'une fixation chimique) permet une excellente préservation des organites cellulaires. De nouvelles méthodes se développent actuellement, qui utilisent la congélation sous haute pression, ou la fixation chimique rapide assistée d'un traitement par des micro-ondes, similaires à celles qui sont utilisées pour la cuisson des aliments. Les biologistes utilisent ce type de préparation pour la détection d' antigène (immuno-cytochimie), ou de certaines séquences dans les acides nucléiques, avec des sondes complémentaires de ces séquences ( hybridation in situ). Le développement de la biologie moléculaire permet de fabriquer une variété infinie d' anticorps monoclonaux et de fragments d'ADN synthétiques, qui permettent une localisation très fine des constituants cellulaires. Ces anticorps et sondes moléculaires sont rendus visibles sur les coupes soit à l'aide de marqueurs le plus souvent constitués de billes d'or colloïdal (de 1 à 40 nm) fixées sur les molécules d'anticorps (IgG) ou sur les sondes d'ADN marquées à la biotine, soit par la méthode d' autoradiographie qui permet de localiser les sites où une sonde d'ADN radioactive s'est fixée dans les cellules. La cryo-ultramicrotomie permet de réaliser des coupes de tissus congelés dans lesquels les constituants cellulaires sont particulièrement bien accessibles, du fait de l'absence de résine d'inclusion.

Ces techniques de froid apportent une autre dimension aux observations : il est possible de fracturer sous vide un tissu congelé et de lyophiliser une partie de l'eau contenue dans les couches superficielles. Cette surface décapée plus ou moins profondément est rendue visible par métallisation, fournissant une vision très claire des organites cellulaires, les répliques ainsi faites pouvant être observées en microscopie par transmission ou en microscopie à balayage à haute résolution.

Abonnez-vous à Universalis pour 1 euro

Les méthodes analytiques utilisant la spectrométrie X et la perte d'énergie des électrons sont également utilisées en biologie, et permettent la localisation et la quantification d'accumulations locales dans des cellules d'atomes d'origine physiologique comme le calcium, ou d'origine externe, tels que des dépôts de métaux toxiques dans le poumon.

« Voir » les molécules

Des progrès considérables ont été apportés par la microscopie électronique dans la visualisation des macromolécules isolées. Parmi celles-ci, les acides nucléiques, les protéines et certains polysaccharides ont fait l'objet de très nombreuses études. Il est important de bien comprendre que la microscopie électronique ne remplacera jamais les méthodes biophysiques d'analyse structurale des molécules que sont la cristallographie par les rayons X et la résonance magnétique nucléaire (R.M.N.), méthodes qui fournissent des cartes structurales des molécules avec des résolutions de quelques dixièmes de nanomètres. Ces méthodes nécessitent l'obtention de cristaux diffractant les rayons X pour la première, et des molécules de poids moléculaire inférieur à 20 000 daltons pour la R.M.N. Dans les deux cas, des protéines très pures et très concentrées (plusieurs mg/ml) sont nécessaires. La microscopie électronique bénéficie de la possibilité unique de voir les molécules individuellement, donc de pouvoir utiliser les méthodes statistiques d'étude des populations.

Les techniques utilisées pour fixer les molécules sur un support et les contraster dépendent des molécules à observer. Les protéines assez grosses pour être directement visibles (d'une taille supérieure à 5 nm, ou ayant une forme caractéristique) peuvent être enrobées d'un film de sels de métal lourd, uranium ou tungstène, qui fournira le contraste. Cette méthode, dite de coloration négative, est plus résolutive que la décoration par métallisation (aussi appelée ombrage) qui, pour être valable, doit être réalisée sur des protéines lyophilisées. Les molécules comme l'ADN peuvent être « colorées » par des métaux lourds et observées en fond noir. L'ombrage fournit également d'excellents résultats pour visualiser les molécules filamenteuses (acides nucléiques et polysaccharides).

Observation des protéines

La structure de nombreuses protéines a pu être déterminée à partir d'images de coloration négative. Les molécules sont vues individuellement, et des traitements statistiques permettent de les aligner, de réaliser des « moyennages » d'images à partir desquelles des reconstructions tridimentionnelles peuvent être faites si l'on dispose d'images inclinées. Ces méthodes de tomographie ont permis d'obtenir des images en trois dimensions de nombreuses protéines et d'autres particules biologiques comme des virus. Ces résultats peuvent remplacer – ou être complémentaires de – ceux qui sont obtenus avec la cristallographie ou la R.M.N., méthodes qui ne sont pas utilisables avec toutes les macromolécules biologiques. Une autre approche, complémentaire de la coloration négative, consiste à observer des molécules flottant dans un film de glace amorphe, obtenu par congélation ultrarapide d'un film d'eau très mince (de 50 à 100 nm environ) contenant les molécules. L'absence de support permet d'obtenir des molécules orientées de façon libre, et l'absence de produit contrastant d'éviter des artefacts.

Une étape complémentaire consiste à réaliser des cristaux en deux dimensions, qui peuvent être observés en coloration négative, ou même dans la glace comme pour les molécules isolées. Un traitement informatique des images peut être fait sur les zones qui présentent un bon arrangement des protéines, ce qui permet de réaliser des reconstructions tridimentionnelles de la protéine. La diffraction des électrons, qui peut être obtenue avec certains cristaux de protéines, a conduit à des analyses cristallographiques qui rejoignent en résolution les résultats de la cristallographie avec les rayons X.

Observation des acides nucléiques

Les molécules d' acides nucléiques, et tout particulièrement l' ADN double chaîne, sont visibles en microscopie électronique à condition de les étaler et de les déposer sur les supports compatibles avec l'observation au microscope. Traditionnellement, l'étalement s'obtient en mélangeant l'ADN avec le cytochrome c, protéine qui se complexe à l'ADN et forme un film très fin à la surface de l'eau. Ce film récupéré sur un support en carbone mince (de 3 à 10 nm) est ensuite contrasté par ombrage. Une méthode plus résolutive consiste à adsorber les molécules à partir de leur solution, sur un film de carbone déposé sur un treillis, et à les contraster par une imprégnation par un sel d'uranium. Un bon contraste est obtenu par l'observation de ces préparations en fond noir. Le contour des molécules peut être suivi aisément, et des informations topologiques (forme supertorsadée des molécules circulaires, par exemple) peuvent être obtenues. Un suivi de contour des filaments permet de mesurer des paramètres comme la courbure locale, qui peut être corrélée à la séquence de l'ADN étudié. Ces paramètres sont très utiles à connaître pour étudier les interactions entre les molécules d'ADN et des protéines qui interviennent dans sa compaction, telles que les histones qui forment les nucléosomes, ou des protéines responsables de la régulation de l'expression des gènes. Une technique plus délicate dans sa pratique consiste à observer les molécules d'ADN flottant dans un mince film de glace. Cela permet, à l'aide de vues stéréoscopiques, de déterminer la conformation réelle des molécules telle qu'elle était dans la solution aqueuse d'origine.

Toutes ces méthodes d'observation des molécules d'ADN – seules ou en association avec des protéines ou des ligands variés, telles que des drogues antitumorales – sont complémentaires des méthodes traditionnelles de la biochimie. Leur utilisation conjointe est de plus en plus utilisée de nos jours.

Abonnez-vous à Universalis pour 1 euro

Les techniques d'observation de l'ADN double chaîne sont valables pour l'étude de l'ADN simple chaîne et de l'ARN, qui présente souvent des segments simple et double chaîne. Elles sont plus délicates d'emploi, mais permettent d'aborder des problèmes difficiles comme l'étude de la structure du génome de virus à ARN comme le VIH.

— Étienne DELAIN

Accédez à l'intégralité de nos articles

  • Des contenus variés, complets et fiables
  • Accessible sur tous les écrans
  • Pas de publicité

Découvrez nos offres

Déjà abonné ? Se connecter

Écrit par

  • : directeur de recherche au C.N.R.S., responsable du groupe microscopie électronique, analytique et quantitative du laboratoire de physique des solides, Orsay
  • : directeur de recherche deuxième classe au C.N.R.S., responsable de l'équipe transport membranaire et fonctions lymphocytaires
  • : directeur de recherche au C.N.R.S., responsable du laboratoire de microscopie cellulaire et moléculaire de l'Institut Gustave-Roussy, Villejuif
  • : directeur honoraire de l'Institut d'optique théorique et appliquée de Paris, professeur honoraire au Conservatoire national des arts et métiers
  • : directeur de recherche au C.N.R.S., Institut d'optique d'Orsay, professeur à l'Institut d'optique, responsable du laboratoire de microscopie, université de Paris-XI, Orsay.
  • : professeur à la faculté des sciences de Luminy, université d'Aix-Marseille, directeur du laboratoire de physique des états condensés
  • : maître de recherche au C.N.R.S.

Classification

Médias

Résolution - crédits : Encyclopædia Universalis France

Résolution

Microscope visuel - crédits : Encyclopædia Universalis France

Microscope visuel

Microscope universel Axioplan - crédits : Encyclopædia Universalis France

Microscope universel Axioplan

Autres références

  • MICROSCOPE, en bref

    • Écrit par
    • 264 mots

    Il est difficile de dater avec précision la naissance du microscope. En 1615, Galilée (1564-1642) utilise un instrument à deux lentilles pour observer de petits objets et, en 1625, l'Accademia dei Lincei, à Rome, propose le mot microscopium. Les premiers microscopes présentent de graves...

  • MICROSCOPIE DU VIVANT

    • Écrit par
    • 190 mots
    • 1 média

    L'essor de l'anatomie microscopique à partir du xviie siècle a suivi l'invention d'instruments d'optique comportant des lentilles de verre qui permettent d'obtenir des images très agrandies en observant, à travers elles, de petits objets.

    Les premiers naturalistes...

  • BACTÉRIOLOGIE

    • Écrit par , , , et
    • 18 335 mots
    • 11 médias
    C'est alors qu'apparaissent les premiers microscopes ; grossissant très peu au début, formés d'une seule lentille, ce sont plutôt de fortes loupes ; peu à peu ils se perfectionnent, et aboutissent au dispositif actuellement utilisé qui combine plusieurs lentilles.
  • BINNIG GERD KARL (1947- )

    • Écrit par
    • 230 mots

    Né le 20 juillet 1947 à Francfort-sur-le-Main (Allemagne),Gerd Karl Binnig y fit ses études à l'université Goethe et obtint son doctorat en 1978. Immédiatement engagé par le laboratoire de recherche I.B.M. de Roschliken, près de Zurich, il travailla avec Heinrich Rohrer à la...

  • CANCER - Immunothérapie

    • Écrit par
    • 5 131 mots
    • 5 médias
    ...lymphocytes T sont des cellules très mobiles dans les tissus date d’une dizaine d’années seulement. C’est grâce à l’utilisation d’une nouvelle technique de microscopie, la microscopie biphotonique, que trois équipes américaines sont parvenues en 2002 à visualiser le comportement dynamique des lymphocytes...
  • CHARBON - Géologie

    • Écrit par
    • 2 753 mots
    • 4 médias
    Mais la structure intime du charbon est restée longtemps mystérieuse ; c'est qu'on ne pouvait l'étudier aumicroscope suivant les techniques habituelles de la science des roches, une lame mince de houille restant opaque quelle que soit sa finesse. L'idée d'observer, par réflexion, au microscope métallographique,...
  • Afficher les 22 références

Voir aussi