MICROSYSTÈMES, technologie
Bibliographie
S. Basrour, S. Ballandras, L. Robert & D. Hauden, « Mechanical Characterization of microgrippers realized by LIGA Technique », in IEEE Digest of Tech. Papers for the Int. Conf. On Solid State Sensors and Actuators-Transducers'97, pp. 599-602, 1997
M. Despart & P. Vettiger, « Micro-Nanosystem Technology for Probe-based Data Storage », in MST News, no 3, pp. 10-12, juin 2003
J. E. Ford, C. C. Chaung, J. A. Walker, V. Aksyuk, D. J. Bishop & C. Doeir, « Data transmission through a 16-channel micro-opto-mechanical wavelength add/drop switch », in Solid State Sensors and Actuators Workshop, pp. 11-12, 1998
A. Fuchs, M. Bruel & H. Wicht, « DNA chips, a breakthrough in high throughput genetic analysis », in MST News, no 4, pp. 18-19, sept. 2000
Guide to the implementation services of the Canadian Microelectronics Corporation GICIS 3.0 CMC, Carruthers Hall, Queen's University, Kriston (Canada), janv. 1987
J. Ji & K. D. Wise, « An implantable CMOS circuit interface of multiplexed microelectrode recording arrays », in IEEE J. of Solid State Circuits, vol. 27, no 3, mars 1992
J. F. Manceau, S. Biwersi & F. Bastien, « On the generation and identification of travelling waves in non –circular structures. Application to innovative piezoelectric motors », in Journal of Smart Materials and structures, vol. 7, pp. 337-344, 1998
K. E. Petersen, « Silicon as a mechanical material », in Proc. of the IEEE, no 70, pp. 420, 1982
W. Simon, A. Lauer, B. Schaunenwecker & A. Wien, « EM design of an isolated coplanar RF Cross for MEMS switch matrix applications », in 4th Topical Meeting on Silicon Macrolithic Integrated Circuits in RF Systems, pp. 162-165, avril 2003
Y. C. Tai, L. S. Fan & R. S. Muller, « IC-processed micromotors : design technology and testing », in Proc. of the IEEE Micro-Electro-Mechanical Systems Workshop, pp. 1-6, Salt Lake City, Utah, févr. 1989
B. Wenks, B. Wagner, G. U. Jansen & E. Orsier, « Customer Support and design service for physical measurment Systems », in MST News, no 2, 1998, pp. 30-31, avril 2000.
La suite de cet article est accessible aux abonnés
- Des contenus variés, complets et fiables
- Accessible sur tous les écrans
- Pas de publicité
Déjà abonné ? Se connecter
Écrit par
- Daniel HAUDEN : professeur, directeur scientifique des sciences et technologies de l'information et de la communication au ministère de la Recherche
Classification
Médias
Microélectronique : fabrication d'un inverseur CMOS
Encyclopædia Universalis France
Microsystèmes : procédé d'usinage anisotrope du silicium
D.R./ FEMTO-ST, Besançon
Microsystèmes : structure tridimensionnelle micro-usinée
D.R./ FEMTO-ST, Besançon
Autres références
-
MICROROBOTS
- Écrit par Philippe BIDAUD
- 296 mots
D'une manière générale, on désigne par microrobots des systèmes qui, du fait des contraintes dimensionnelles qu'ils subissent, ne peuvent pas être conçus à l'aide des technologies classiques utilisées dans les robots macroscopiques, mais avec les microtechnologies voire les...
-
NANOTECHNOLOGIES
- Écrit par Claude WEISBUCH
- 6 286 mots
- 4 médias
Un domaine connexe est celui des microsystèmes, d'une taille allant du centimètre à la dizaine de micromètres, fabriqués en grande série grâce aux techniques de fabrication collectives de la microélectronique. Les applications sont variées (accéléromètres déclencheurs d'airbags de voiture... -
PUCES À ADN ET LABORATOIRES SUR PUCE
- Écrit par Michel BELLIS et Claude VAUCHIER
- 2 266 mots
- 2 médias
Les progrès techniques, en particulier la miniaturisation, ont permis le développement d'appareillages d'analyse performants pour les biologistes. Après la puce à ADN (appelée ainsi par analogie avec les circuits intégrés), mise au point au début des années 1990 et permettant d'effectuer...
-
ROBOTS
- Écrit par Philippe COIFFET
- 14 080 mots
- 1 média
...environ, on est allé vers « le haut » avec des robots transportant jusqu'à environ une tonne sur des distances de plusieurs mètres, et vers « le bas » en élaborant de tout petits robots pouvant contrôler des déplacements de l'ordre du micromètre dans quelques centimètres cubes, constituant ainsi ce qu'on...
