Microsystèmes : principe de la couche « sacrifiée »

La dissolution chimique d'une couche intermédiaire de silice tendre (SiO2), dite couche sacrifiée, permet de libérer la partie mobile d'un microsystème.

Encyclopædia Universalis France - Conditions d'utilisation

Retrouvez ce media dans l'article

MICROSYSTÈMES, technologie
- Écrit par Daniel HAUDEN
- 3 756 mots
- 11 médias
Objets « intelligents » de petite dimension – leur taille varie du centimètre à la dizaine de micromètres (1 μm = 10^—6 m) – les microsystèmes présentent une fonction bien identifiée et sont élaborés par des technologies de fabrication collectives, dites en « parallèle » (...