Médias de l'article : MICROSYSTÈMES, technologie
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Microélectronique : fabrication d'un inverseur CMOS
Encyclopædia Universalis France
Microsystèmes : procédé d'usinage anisotrope du silicium
D.R./ FEMTO-ST, Besançon
Microsystèmes : structure tridimensionnelle micro-usinée
D.R./ FEMTO-ST, Besançon
Microsystèmes : principe de la couche « sacrifiée »
Encyclopædia Universalis France
Microsystèmes : micro-moteur électrostatique rotatif en silicium
D.R./ BSAC, Berkeley, Californie, USA
Microsystèmes : micro-moteur électrostatique rotatif métallique
D.R./ FEMTO-ST, Besançon
Microsystèmes : micro-moteur à frottement
D.R./ FEMTO-ST, Besançon
Microsystèmes : source et stockage d'énergie
Encyclopædia Universalis France
Microsystèmes : capteur de choc d'un airbag
D.R./ Senso-Nor, Norvège
Microsystèmes : micro-capteurs de pression
D.R./ SINTEF, Norvège
Microsystèmes : la puce à ADN Micam 8100
Artechnique/ CEA